主要特点：
应用：1）方块电阻2）薄片电阻3）掺杂浓度4）金属层厚度5）P/N类型6）I/V测试
技术参数：
1）Chuck尺寸：标准4英寸，可选6英寸和8英寸2）测试头上下位移：10mm3）Z方向分辨率：1微米4）探针材料：钨钢5）探针间距：40mil,50mil,62.5mil6）探针压力：45g,85g,180g7）针尖半径：40.6微米
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